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高真空晶圓摩擦磨損測試系統(tǒng)

功能介紹

隨著半導(dǎo)體技術(shù)向3nm 及以下制程快速演進(jìn)，晶圓制造對表面質(zhì)量和材料可靠性的要求達(dá)到了前所未有的高度?；瘜W(xué)機(jī)械拋光（CMP）、刻蝕、薄膜沉積等關(guān)鍵工藝中，晶圓與設(shè)備部件的摩擦磨損行為直接影響器件性能、良率及設(shè)備壽命。高真空晶圓摩擦磨損測試系統(tǒng)，旨在為半導(dǎo)體制造、材料研發(fā)及學(xué)術(shù)研究提供高精度、多場景的測試解決方案，推動先進(jìn)制程技術(shù)突破。通過集成高真空模擬、多參數(shù)測量及智能分析模塊，構(gòu)建先進(jìn)測試平臺。支持摩擦系數(shù)等多參數(shù)實(shí)時采集與動態(tài)分析。

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備制造、晶圓廠及新材料研發(fā)領(lǐng)域，可精準(zhǔn)研究材料在高真空環(huán)境下、從微小到大幅載荷變化中的摩擦性能與壽命特征，助力拓寬材料實(shí)際應(yīng)用場景并提升使用壽命，為先進(jìn)制程半導(dǎo)體材料可靠性研究提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。

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蔣工：13609382552

王工：15117025700

技術(shù)指標(biāo)

真空度	空載極限真空≤5.0e^-5Pa，負(fù)載≤5.0e^-4Pa
載荷范圍	0.1-20N ，加載力精度：±1mN
運(yùn)行速度	1-200mm/s，精度：±0.1mm/s
支持微力與較大載荷同系統(tǒng)測量